金刚石砂轮厂家介绍蓝宝石行业加工

1、蓝宝石加工流程

1.1衬底蓝宝石片制程

从蓝宝石晶锭到较后的衬底蓝宝石片，主要包括以下步骤：长晶→ 掏棒→ 头尾截断→滚磨→晶棒定向→切片→倒角磨边→粗精研磨→CMP抛光。每较个步骤均需要配备不同的金刚石工具来完成，主要工具有钻头、砂轮、线锯等。

长晶：利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体；

掏棒：使用蓝宝石钻头（高精度套料钻头）从蓝宝石晶体中掏出蓝宝石晶棒；

滚磨：使用金刚石砂轮（树脂结合剂或金属结合剂）进行晶棒的结晶方向平研、外径研磨，得到的外圆尺寸精度；（19.现在粗磨较般是金属砂轮、精磨是陶瓷砂轮，也有企业用树脂砂轮粗精磨）

定向：在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置，便于准确切片加工；

切片：使用金刚石线锯将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片；

倒角磨边：采用金属结合剂金刚石砂轮将晶片边缘修整成圆弧状，改善薄片边缘的机械强度；

研磨：去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平面度。分粗研磨和精研磨，涉及的磨料磨具产品主要有金刚石磨盘、金刚石研磨液、金刚石背面减薄砂轮等；

抛光：改善晶片粗糙度，使其表面达到外延片磊晶更精度，多使用CMP抛光液。

1.2 封装制程

磊晶及封装制程主要包括以下步骤：衬底片→外延片→蒸镀刻蚀→热处理→背面减薄→研磨抛光→划片测试→固晶→打线封装→切割→测试。主要涉及的磨料磨具产品为金刚石超薄划片刀、金刚石背面减薄砂轮、研磨液、抛光液等。

2、部分磨料磨具产品介绍

2.1 金刚石砂轮

金刚石砂轮在蓝宝石、硅片等硬脆材料加工过程中的应用较为广泛，从晶棒的处理到晶片的粗加工进而到精加工等步骤，均要用到不同种类的金刚石砂轮。图2为4种代表砂轮，分别是晶棒滚圆砂轮(图3a)、平面研磨砂轮(图3b)、减薄砂轮(图3c)以及抛光砂轮(图3d)等，金刚石粒度从100#到8000#均有涉及，胎体材料包括金属结合剂、树脂结合剂和陶瓷结合剂。